压阻式传感器基于硅材料，由电阻阵列组成，称为惠斯通电桥，蚀刻在硅基片上。当压力施加到传感器时，硅弯曲，从而改变电阻值，利用惠斯通电桥电阻上的压降变化计算压力。
压阻式传感器必须通过膜片和注油系统与过程分离。
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