压阻式传感器基于硅材料,由电阻阵列组成,称为惠斯通电桥,蚀刻在硅基片上。当压力施加到传感器时,硅弯曲,从而改变电阻值,利用惠斯通电桥电阻上的压降变化计算压力。压阻式传感器必须通过膜片和注油系统与过程分离。
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